Die Plasmaschneidsteuerung besteht im Wesentlichen aus folgenden Komponenten:
Hochfrequenz-Stromquelle: Wird zur Erzeugung eines hochfrequenten elektrischen Felds verwendet.
Anpassungsnetzwerk: Wird verwendet, um die Verteilung des hochfrequenten elektrischen Feldes innerhalb der Plasmakammer anzupassen;
Plasmakammer: Wird zur Ionisierung von Gasmolekülen und zur Erzeugung von Plasma verwendet.
Vakuumsystem: Gewährleistet das Vakuumniveau und die Stabilität der Plasmakammer;
Steuersystem: Wird zur Steuerung der Plasmaparameter und zur Erzielung einer stabilen Steuerung der elektrischen Eigenschaften des Plasmas verwendet.
